嘉兴市一科研成果拍出610万元成“标王”

　　11月6日，中国浙江网上技术市场活动周的重头戏——“浙江省技术交易中心2012科技成果竞价(拍卖)会”拉开序幕，浙江中科院应用技术研究院嘉兴微电子仪器与设备工程中心研发的新成果——《蓝宝石图形化衬底干法刻蚀机(含氮化镓刻蚀机)的整套技术》，拍出了本次拍卖会的最高价610万元，成为浙江省首届科技成果竞价(拍卖)会的“标王”。

　　在昨天下午的拍卖会上，首个拍卖成果《蓝宝石图形化衬底干法刻蚀机(含氮化镓刻蚀机)的整套技术》就掀起了本次拍卖会高潮，浙江天通吉成机器技术有限公司、海宁红狮宝盛科技有限公司等3家参与竞拍的单位，经过11轮的激烈竞拍，最终浙江天通吉成机器技术有限公司以610万元的价格竞拍成交，成为本次拍卖会的“标王”。

　　据介绍，获得竞价(拍卖)会“标王”的《蓝宝石图形化衬底干法刻蚀机(含氮化镓刻蚀机)的整套技术》，可以一次完成22片2英寸蓝宝石图形化生产，可以在蓝宝石或其他材料上高速精确刻蚀出各种亚微米图形，图形化衬底可以提高LED发光效率30%。同时，该技术可以一次完成27片2英寸蓝宝石GaN器件生产，是LED芯片生产关键必备技术。

　　嘉兴微电子仪器与设备工程中心拥有的包括生产型刻蚀机样机全套设计技术资料、制造技术资料和全套刻蚀工艺，以及相关曝光、清洗工艺等，保持国际同行领先水平。该技术主要用户为LED芯片厂商、蓝宝石材料厂商和其他半导体器件、光电子器件厂商。